半導(dǎo)體金相顯微鏡的校準(zhǔn)
半導(dǎo)體金相顯微鏡是鑒定成品材料質(zhì)量*的儀器。半導(dǎo)體金相顯微鏡主要通過(guò)材料顯微組織的定性，定量晶界組織等表征識(shí)別來(lái)對(duì)材料工藝流程，物理特性，失效成因等綜合因素做出科學(xué)的判斷，并對(duì)金屬細(xì)微結(jié)構(gòu)以及非金屬夾雜物的分布形貌等進(jìn)行科學(xué)研究。
伴隨著經(jīng)濟(jì)進(jìn)入新常態(tài)，國(guó)內(nèi)材料行業(yè)必定在供給側(cè)改革的大趨勢(shì)下迎來(lái)行業(yè)的春天。從zui傳統(tǒng)的黑色鋼鐵冶煉到zui熱門的納米材料制造無(wú)不蘊(yùn)藏著巨大的商機(jī)。那么成品材料的質(zhì)量鑒定就成為了行業(yè)突破的首要問(wèn)題。其中zui重要的一項(xiàng)鑒定檢查程序就是通過(guò)一臺(tái)專業(yè)的半導(dǎo)體金相顯微鏡對(duì)材料樣品進(jìn)行金相檢驗(yàn)。
1、物鏡場(chǎng)曲
將一半導(dǎo)體金相顯微鏡物鏡安裝好，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺放在工作臺(tái)上并壓緊；旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕，將焦點(diǎn)調(diào)整在測(cè)微尺的中間，視場(chǎng)中心成像清晰，此時(shí)將千分表測(cè)頭與工作臺(tái)表面相接觸并對(duì)好表的零位；再次旋轉(zhuǎn)半導(dǎo)體金相顯微鏡調(diào)焦旋轉(zhuǎn)，把焦點(diǎn)調(diào)整到測(cè)微尺的邊緣，使視場(chǎng)邊緣成像清晰。半導(dǎo)體金相顯微鏡觀察千分表，其zui大偏移量即為該物鏡的場(chǎng)曲誤差，其余物鏡以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。
2、物鏡放大倍數(shù)的正確性
半導(dǎo)體金相顯微鏡裝上10X標(biāo)準(zhǔn)目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)沒微尺放在工作臺(tái)上并壓緊。半導(dǎo)體金相顯微鏡觀察時(shí)測(cè)微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測(cè)是放大倍數(shù)的誤差。其余物鏡以此類推進(jìn)行校校準(zhǔn)，其誤差不大于5%
3、目鏡分劃板的準(zhǔn)確度
將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬(wàn)工顯工作臺(tái)上并調(diào)好焦距；調(diào)整半導(dǎo)體金相顯微鏡工作臺(tái)，使分劃板的水平線與萬(wàn)工顯縱向?qū)к壭谐唐叫胁?duì)好零位，按每20格測(cè)量一次，直到第100格，其誤差不大于5um
4、物鏡成像清晰范圍
用被檢物鏡及10X目鏡對(duì)測(cè)微尺或金相試樣進(jìn)行調(diào)焦，使成像清晰。當(dāng)視場(chǎng)中心像zui清晰時(shí)，半導(dǎo)體金相顯微鏡測(cè)得視場(chǎng)內(nèi)的成像清晰范圍的誤差不低于60%
5、各物鏡相對(duì)于目鏡的格值
裝上被檢半導(dǎo)體金相顯微鏡的10X目鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺（推薦使用隨機(jī)0.01mm測(cè)微尺）放在工作臺(tái)上并壓緊；調(diào)整測(cè)微尺標(biāo)尺軸線與半導(dǎo)體金相顯微鏡目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測(cè)微尺n條刻線數(shù)，該物鏡相對(duì)于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。
